![マスフローコントローラー現場のイメージ マスフローコントローラー現場のイメージ](/files/components/products-for-mass-flow-controller-applications/banner_products-for-mfc-apps.jpg)
高まる半導体ニーズに、様々な製品でお答えします
ウィズコロナ社会でのテレワーク、5G 社会でのデジタルシフトが進み、世界的に半導体ニーズが高まっています。半導体製造メーカーは、より微細化・高度化に対応する製造設備の増強に進むようです。今回は、半導体製造装置などに組み込まれる「マスフローコントローラー」向けの電子部品のご提案をいたします。
アプリケーション事例
マスフローコントローラーブロック図
![](/files/components/products-for-mass-flow-controller-applications/mfc_app-chart-03.png)
MENU
1 マイコン(制御回路)
2 センサーキット
【Metallux】
酸性/アルカリ性の液体・気体、海水の計測が可能セラミックダイアフラム圧力センサ
![セラミックダイアフラム圧力センサ セラミックダイアフラム圧力センサ](/files/components/metallux/ceramic-pressure-sensors-transducers_ME78x-MEP78x-ME75x-MEP75x-ME501-ME505/metallux_ceramic-diaphragm-pressure-sensors.jpg)
特長
- 酸性/アルカリ性の液体および気体、海水などに耐性の高いセラミックダイアフラムで多くの媒体を計測可能
- 円柱型の小型パッケージで省スペース
- 液溜まりのないフラッシュダイアフラム(一部製品は非対応)
- 広い動作温度範囲で多くのアプリケーションに利用が可能(-25 ~ 125℃)
- 要ハウジングデザイン
【First Sensor】
基板実装型とメタルハウジングタイプ圧力センサ製品群
![基板実装型とメタルハウジングタイプ圧力センサ製品 基板実装型とメタルハウジングタイプ圧力センサ製品](/files/components/first-sensor/pressure_sensors_first_sensor_ag_former_sensortechnics/first-sensor_pressure-sensors.jpg)
3 RS232/485/Ethernet
4 表示器
5 スイッチ
6 電源・DC/DC 部
7 コネクタ
お問い合わせ・ご相談
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