一般的に MEMS 圧力センサが対応できるのは乾燥空気だけで、それ以外の媒体には対応できません。乾燥空気以外の媒体にも対応できる Merit Sensor 社の圧力センサ(TR シリーズ)を紹介します。

使用可能媒体
- 冷媒ガス
- 排気ガス
- 天然ガス(LPG、CNG)
- 燃料ガス
- ディーゼルガス
- 蒸留水
- 水道水
- 鉱物油
- 合成油
- ギヤオイル
アプリケーション
- 空調管理
- ガス流量制御
- 工業用ガス計測機器
- 排気ガス還流システム
- 水位測定
- 油圧測定
資料ダウンロード
TR シリーズデータシート(英文)PDF - 1.34 MB
仕様
圧力レンジ | 15 ~ 500psi |
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圧力形式 | 絶対圧・ゲージ圧 |
精度 | ±2.5% FSS |
動作温度 | -40 ~ 150℃ |
出力形式 | 0.5 ~ 4.5V(5V 入力時) |

MEMS 圧力センサ TR シリーズ寸法図