一般的に MEMS 圧力センサが対応できるのは乾燥空気だけで、それ以外の媒体には対応できません。乾燥空気以外の媒体にも対応できる Merit Sensor 社の圧力センサ(TR シリーズ)を紹介します。
 
使用可能媒体
- 冷媒ガス
- 排気ガス
- 天然ガス(LPG、CNG)
- 燃料ガス
- ディーゼルガス
- 蒸留水
- 水道水
- 鉱物油
- 合成油
- ギヤオイル
アプリケーション
- 空調管理
- ガス流量制御
- 工業用ガス計測機器
- 排気ガス還流システム
- 水位測定
- 油圧測定
資料ダウンロード
TR シリーズデータシート(英文)PDF - 1.34 MB
仕様
| 圧力レンジ | 15 ~ 500psi | 
|---|---|
| 圧力形式 | 絶対圧・ゲージ圧 | 
| 精度 | ±2.5% FSS | 
| 動作温度 | -40 ~ 150℃ | 
| 出力形式 | 0.5 ~ 4.5V(5V 入力時) | 
 
MEMS 圧力センサ TR シリーズ寸法図
 
         
    







