Fully Compensated Pressure Sensor Package TVC Series

液体及び腐食性媒体対応・完全補償型圧力センサパッケージ TVC シリーズ

　
圧力センサ
温度補償済
液体圧力
腐食性流体
MEMS
ゲージ圧
絶対圧
冷媒ガス対応

TVC シリーズは、-40℃ ～ 150℃ の環境でも安定した出力をすることができる液体及び腐食性媒体対応・完全補償型圧力センサパッケージです。MEMS シリコンダイ（J シリーズ）がセラミック圧力ポートの上部に取り付け、ダイ背面からの圧力印加を行います。この構造により測定媒体はセラミック、シリコン、ダイボンド材に接触しません。これにより、低圧の気化燃料や、高圧の冷媒ガスを測定する場合でも、十分な信頼性を保ちます。

完全補償型圧力センサパッケージ TVC シリーズ

特長

  • 背面圧力測定
  • 圧力範囲：1 ～ 300psi
  • 圧力方式：ゲージ圧・絶対圧
  • 出力電流：2.5mA
  • 精度
    • スタンダード：±2.5%FS
    • 高精度：±1.0%FS
  • 空気、ガス、液体等の様々な媒体対応

アプリケーション

  • 空調管理
  • 油圧測定
  • 水圧測定
  • 排気ガス還流システム
  • 工業用ガス計測機器

資料ダウンロード

TVC シリーズ データシート（英文）PDF － 1.53 MB

センサパッケージ TVC シリーズの内部構造断面

センサパッケージ TVC シリーズの内部構造断面

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