高精度、広い動作温度範囲の圧力センサチップ

Merit Sensor Systems 社は、圧力レンジ 0.15 ～ 15,000psi、動作温度範囲 -40℃ ～ +150℃ の MEMS 圧力センサチップを取り揃えています。ラインナップの幅広さに加えて、抵抗値・ブリッジ回路・感度・ガラス台座の厚さの選択といったカスタム対応も可能です。

特長

主なラインアップ

シリーズ名	圧力レンジ	直線性	圧力形式	サイズ (mm)	動作温度範囲	特長/ アプリケーション
Jシリーズ	1 ～ 300psi 0.07 ～ 21bar 6.89 ～ 2100kPa	±0.2% FSO	絶対圧ゲージ圧	1.95×1.95 mm	-40 ～ 150℃	低圧・中圧用小型
Dシリーズ	15 ～ 300psi 1 ～ 20.7bar 103 ～ 2068kPa	±0.25% FSO	絶対圧ゲージ圧	1.42×1.42 mm	-40 ～ 150℃	低圧・中圧用超小型
Kシリーズ	1000 ～ 15000psi 68.9 ～ 1,034bar 6895 ～ 103421kPa	±0.2% FSO	絶対圧	1.42×1.42 mm	-40 ～ 150℃	高圧用小型
HMシリーズ	15 ～ 500psi 1 ～ 34.5bar 103 ～ 3447kPa	±0.2% FSO	絶対圧	2.08×2.08 mm	-40 ～ 150℃	低・中圧用耐腐食性
3000シリーズ	5 ～ 100psi 0.34 ～ 6.9bar 34.5 ～ 689kPa	±0.2% FSO	絶対圧ゲージ圧	2.5×3.3 mm	-40 ～ 150℃	低圧用
AP301シリーズ	100 ～ 1000psi 6.9 ～ 68.9bar 699 ～ 6895kpa	±0.15% FSO	絶対圧ゲージ圧	2.2×2.8mm	-40 ～ 150℃	中圧用
5000シリーズ	1000 ～ 10000psi 69 ～ 689bar 699 ～ 68948kpa	±0.15% FSO ±0.35% FSO (5000psi 以上)	絶対圧	1.6×1.9mm	-40 ～ 150℃	高圧用
7000シリーズ	15 ～ 500psi 1 ～ 34.5bar 103 ～ 3447kPa	±0.2% FSO	絶対圧ゲージ圧	1.6×2.2mm	-40 ～ 150℃	低中圧用