ピエゾ抵抗方式を採用した ME501/ME505 は、レーザー調整可能な PTC 抵抗によって熱補償されており、セラミックの使用により、全領域で高い直線性が確保されています。ヒステリシスの影響を最小限に抑えた測定が可能です。Al2O3 セラミックにより耐薬品性（腐食性ガス、ほとんどの溶剤、酸など）に優れています。
特長
- 優れた耐久性、腐食・磨耗性
- 絶対圧の測定
- 熱補償
- 豊富なカスタマイズ
- 幅広い測定範囲
- 飲料水用途認証：NSF/ANSI 61取得
アプリケーション
- 半導体製造装置
- 農業用計測装置
- 気象用計測装置
- 食品製造装置
- 医薬品製造装置
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ME501・ME505 データシート（英文）PDF － 896.32 KB
主な仕様
| 項目 | 単位 | 内容 |
|---|---|---|
| 圧力レンジ | bar | 0-0.5 bar ～ 0-800 bar |
| センサタイプ | － | フラッシュダイヤフラム 絶対圧（A)、ゲージ圧(G)又はシールドゲージ（S) |
| 方式 | － | ピエゾ抵抗 |
| ダイヤフラム材料 | － | セラミック Al2O3 96%（標準）、 99.6% またはサファイア（ご要望により） |
| 重量 | g | ≦8 (セラミックセルのみ） |
| 応答時間 | ms | ≦1 |
| 供給電圧 | VDC | 2 ～ 30 |
| オフセット | mV/V | -0.1 ±0.1（その他の公称値はお問い合わせください） |
| 消費電流 | mA | ≦1.3 @ 10V |
| 動作温度 | ℃ | -40 ～ +135（-40℉ ～ +275℉） |
| 保存温度 | ℃ | -40～+150（-40℉ ～ +302℉） |
| インピーダンス | kΩ | 11 ±30% |
| 準拠規格 | － | REACH, RoHS, Conflict Minerals Free |
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