静電容量方式を採用した ME550 は、60mbar という非常に低い圧力の測定に適したセンサです。しかし高い耐圧を特徴とし、多くのアプリケーションで非常に信頼性の高いセンサです。Al2O3 セラミックにより耐薬品性（腐食性ガス、ほとんどの溶剤、酸など）に優れています。
特長
- 耐化学薬品性（耐酸性・耐アルカリ性）
- 機械的堅牢性
- 広い動作温度範囲
- 超低圧測定：0 ～ 60mbar
アプリケーション
- 半導体製造装置
- 農業用計測装置
- 気象用計測装置
- 食品製造装置
- 医薬品製造装置
主な仕様
| 項目 | 単位 | 内容 |
|---|---|---|
| 圧力レンジ | 0-60mbar ～ 0-20bar | |
| センサタイプ | - | フラッシュダイヤフラム 絶対圧（A) またはゲージ圧 (G) |
| 方式 | - | 静電容量式/比率 |
| ベース材料 | - | セラミック Al2O3 96％ |
| ダイヤフラム材料 | - | セラミック Al2O3 96％ または 99.6％ |
| 重量 | g | ≦20 (セラミックセルのみ） |
| 応答時間 | ms | ≦10 |
| 静電容量(Cx and Cr） | pF | 50 - 80 |
| オフセット | - | Cx/Cr = 1 ± 0.07 |
| 動作温度 | ℃ | -40 ～ +135 (-40°F ～ +275°F) |
| 保存温度 | ℃ | -40～+150 (-40℉ ～ +302℉) |
| 準拠規格 | - | REACH, RoHS, Conflict Minerals Free |
資料ダウンロード
ME550 データシート（英文）PDF － 930.96 KB
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