First Sensor 社の高精度慣性センサは、傾斜角センサ(SI シリーズ)と加速度センサ(SA シリーズ)をご用意してあります。素子は単結晶シリコンセンサー素子を採用しており、最先端のマイクロマシニング技術を利用する高い S/N 比と優れた温度に対する安定性を実現しました。

特長
SI シリーズ
- 型番:SI-11.S1C.-30
- 検出軸:2軸
- 測定範囲:±30°
- 分解能(10Hz):<0.0015°
- スケールファクター(再現性):±35ppm
- スケールファクター(温度特性※):±50ppm/K
- バイアス(再現性):±0.0030°
- バイアス(温度特性※):±0.0025°/K
- 出力方式:SPI
- 動作温度範囲:-40 ~ +85℃
※ 温度特性は未較正時の値です。
SA シリーズ
- 型番:SA-12.S1.C-3、SA-13.S1.C-8、SA-14..S1.C-15
- 検出軸:2軸
- 測定範囲:±3g、±8g、±15g
- 分解能(10Hz):<40μg、<65μg、<95μg
- スケールファクター(再現性):±35ppm
- ケールファクター(温度特性※):±50 ppm/k
- バイアス(再現性):±115μg、±260μg、±470μg
- バイアス(温度特性※):±65μg/K、±105μg/K、±175μg/K
- 出力方式:SPI
- 動作温度範囲:-40 ~ +85℃
※ 温度特性は未較正時の値です。
アプリケーション
SI シリーズ
下記を含むあらゆる分野での傾斜角監視や制御に最適です。
- 一般産業機械
- 産業用ロボット
- 建造物
- 農業機械
- 食品機械
- 建設機械
- 測定器
SA シリーズ
各分野の振動における加速度測定に最適です。
- プロセス制御
- 地震測定
- 傾斜角測定
- 動力測定
- 速度測定
- 機械
資料ダウンロード
SI/SA Series データシート(英文)PDF - 1.26 MB