Electronic Components for Mass Flow Controller Applications

マスフローコントローラ向け電子部品

マスフローコントローラー現場のイメージ

高まる半導体ニーズに、様々な製品でお答えします

ウィズコロナ社会でのテレワーク、5G 社会でのデジタルシフトが進み、世界的に半導体ニーズが高まっています。半導体製造メーカーは、より微細化・高度化に対応する製造設備の増強に進むようです。今回は、半導体製造装置などに組み込まれる「マスフローコントローラー」向けの電子部品のご提案をいたします。

アプリケーション事例

マスフローコントローラーブロック図

マイコン(制御回路)

【Microchip Technology】

セキュリティ機能とコネクティビティを低消費電力で実現する SAMD5x/E5x MCUファミリー

SAMD5x/E5x MCUファミリー 製品イメージ

特長

  • クラス最高水準の低消費
    • 動作時で 65μA/MHz の電力効率
    • 5つの低消費電力モードをサポート
  • 充実したセキュリティ機能
    • AES、RSA、ECC、SHA 暗号化技術をサポート
  • フルスピード USB(ホスト&デバイス)
  • 10/100 Ethernet MAC, CAN-FD をサポート(E5x シリーズ)
  • 動作電源電圧:1.71V ~ 3.6V
  • 動作温度範囲:-40℃ ~ 85℃

製品の詳細 PDF 資料

センサーキット

【Honeywell Safety and Productivity Solutions】

高精度/高耐久圧力トランスデューサー PX2 シリーズ

圧力トランスデューサー PX2 シリーズ

特長

  • 高精度 (トータルで 2% FSS)
  • 選択の幅が広い
    (選択可能項目:出力/コネクタ形状/ポート形状/圧力レンジ)
  • 圧力レンジ:1MPa ~ 4.6MPa​
  • 高速応答(<2ms)
  • 低消費電流 (typ. 5mA)
  • 広い動作温度範囲:-40 ~ 125℃

製品の詳細 PDF 資料

【Metallux】

酸性/アルカリ性の液体・気体、海水の計測が可能セラミックダイアフラム圧力センサ

セラミックダイアフラム圧力センサ

特長

  • 酸性/アルカリ性の液体および気体、海水などに耐性の高いセラミックダイアフラムで多くの媒体を計測可能
  • 円柱型の小型パッケージで省スペース
  • 液溜まりのないフラッシュダイアフラム(一部製品は非対応)
  • 広い動作温度範囲で多くのアプリケーションに利用が可能(-25 ~ 125℃)
  • 要ハウジングデザイン

製品の詳細

【First Sensor】

基板実装型とメタルハウジングタイプ圧力センサ製品群

基板実装型とメタルハウジングタイプ圧力センサ製品

特長

  • 基板実装型の圧力センサ
    (0.25 mbar ~ 5 bar)
  • ステンレス圧力センサ
    (200 mbar ~ 100 bar)

製品の詳細

【TE Connectivity】

IoT 応用を支える TE Sensor Solutions 汎用センサ

IoT 向け汎用センサ製品イメージ

特長

  • ステンレス圧力センサ
  • フュージョンセンサ
  • 各種温湿度センサ
  • 各種大気圧センサ

製品の詳細

RS232/485/Ethernet

【Bourns】

RS485 通信への保護製品

RS485 評価ボード写真

特長

  • 実績に裏付けされた保護提案
  • 全て自社製品のため部品間の相性はバッチリ
  • 全て RoHS 対応
  • ガスアレスタとサイリスタはどちらかを選択

製品の詳細 PDF 資料

表示器

【WINSTAR Display】

ドライバー IC 内蔵 3V 電源 2.7 インチ有機 EL(OLED)WEF012864

有機 EL ディスプレイ WEF012864

特長

  • タイプ:グラフィック有機 EL モジュール
  • 結構:COG
  • フレーム無/フレームあり両タイプ
  • サイズ:2.7 インチ
  • 128 × 64 ドットマトリックス
  • SSD1309ZC ドライバー IC 内蔵
  • 3V 電源電圧

製品の詳細 PDF 資料

スイッチ

【Carling Technologies】

耐腐食性、耐薬品性強い防水防塵プッシュボタン AV/AVH シリーズ

プッシュボタン AV/AVH シリーズ 製品イメージ

特長

  • 耐腐食性、耐薬品性
  • 防水防塵 IP67
  • 長寿命:100K サイクル動作試験クリア(機械的)
  • 照光仕様対応

製品の詳細 PDF 資料 関連動画

電源・DC/DC 部

【グローバル電子】

様々な容量のパワーアンプに対応するヒートシンク「FKシリーズ」&「KFシリーズ」

ヒートシンク FK/KF シリーズ 製品写真

特長

  • 多様な切断寸法に対応
  • 押し出し型公差:JIS H4100 普通級
  • 切断寸法公差:300mm 以内 ±0.5
  • 切削加工公差:JIS B-0405 中級
  • 表面処理
    • 脱脂のみ(処理なし)
    • 黒色アルマイト
    • 白色アルマイト
    • 指定色アルマイト
      ※ ただし、破断面はこの限りではありません

製品の詳細 資料請求

【Coilcraft】

超小型 5mm 角高耐圧フライバックトランス LPD5030V シリーズ

フライバックトランス LPD5030V 製品イメージ

特長

  • 一次二次巻数比が 1:1 のフライバックトランス
  • 保証層間絶縁耐圧
    • DC:1500V
    • RMS:1000V
  • UL で要求されている安全性を確保
  • 結合係数 K = 0.97 以上

製品の詳細 PDF 資料

【Coilcraft】

高耐圧カップルドインダクタ LPD8035V

カップルドインダクタ LPD8035V 製品イメージ

特長

  • 機能絶縁
  • 専有面積が小さく低背設計(コイルクラフト社類似製品MSDファミリーより小さい)
  • フライバックk、フライバック TM、SEPIC、Ćuk、Zeta などの各種電源アプリケーションに最適
  • 電磁シールド構造により EMI を低減

製品の詳細 PDF 資料 関連動画

コネクタ

【TE Connectivity】

産業機械市場の通信スタンダードを豊富なラインナップと信頼性/実績で提供する M8/M12 コネクタ

M8/M12 コネクタ システム 製品イメージ

特長

  • 豊富なバリエーションで多彩なアプリケーションに採用可能
    • ケーブルハーネス品
    • 基板実装タイプ
    • パネルマウントタイプ
    • 現場施工結線タイプ
  • 各種ネットワーク/センサー接続に準拠
    • Profi-bus
    • Device-net
    • CC-link
    • CAN
    • IO-link
    • Ethernet
    • IP

製品の詳細 PDF 資料

【TE Connectivity】

簡単な結線ができる RITS インターコネクション システム

RITS インターコネクション システム

特長

  • 適用電線範囲は 0.08 ~ 0.5mm2(AWG #28-20)
  • プライヤーと専用工具による結線 *1
  • 小型(2.0mm ピッチ)コネクタ
  • 2点接触構造が良好な接触安定性
  • 電線範囲をハウジングの色で識別

*1 プライヤーでの施⼯は3P/4pのみです。5P以上の極数には専用⼯具をご使用ください。0.08mm 電線への施⼯に関しましては、弊社営業部までお問い合わせ下さい。

製品の詳細 PDF 資料

【TE Connectivity】

小型/低背で Max. 5A/Pin を流せる 3.0mm ピッチ Micro MATE-N-LOK コネクタ

Micro MATE-N-LOK コネクタ 製品イメージ

特長

  • 3.0mm ピッチで最大 5A/pin を実現(AWG#20 使用時)
  • 2 ~ 24 極(1列/2列)/SMT・DIP/W-B・W-W/金・錫めっき/AWG#30~20と豊富なバリエーション
  • 極間壁を設け、誤嵌合防止/沿面・空間距離確保に貢献
    ※ AC/DC:250V 仕様
  • 嵌合を確実に行うため、アウターポジティブロックを装備

製品の詳細 PDF 資料

【Samtec】

多様なバリエーションのボード対ボードコネクタを取り揃えている Flexible Stacking ファミリー

Flexible Stacking ファミリーの写真

特長

  • 極数:2 ~ 300pin
  • 行数:1 ~ 6列
  • ポストの高さ:0.13mm 刻みに調整可能
  • ボードのスタッキング距離:1.65mm ~ 48.51mm

製品の詳細 PDF 資料 関連動画

ここで紹介する製品に関するご相談や各種お問い合わせまたは見積依頼については、以下よりお問い合わせください。