低圧用・高分解能・高精度圧力センサ (MS45xx シリーズ) ＆大気圧センサ (MS5806)

TE センサソリューションの MEAS 圧力センサは GPS や位置補正に用いられる気圧センサから建機や産機で用いられる高耐久のステンレス圧力センサまで幅広く取り揃えています。今回はその中の新製品をご紹介します。

MS4525 はアナログ出力タイプ、MS4525DO はデジタル出力 (I2C or SPI) の圧力センサです。総合精度が ±1.0% span の高精度で温度補償された信号を出力します。特長はゲージ圧や差圧だけでなくバキュームゲージ圧の測定が可能で負圧の計測が可能です。

バキュームゲージ圧とは

ゲージ圧は大気圧を基準としてプラス側（正圧）の測定をする場合に選択する圧力タイプです。対してバキュームゲージは大気圧を基準としてマイナス側（負圧：真空に向かう圧力）の測定をする場合に選択する圧力タイプになります。容器内を負圧にしてリークした場合の圧力変動を検知するといった使用方法があります。

製品パラメーター

型番	MS4525	MS4525DO
供給電圧	2.7V ～ 5.5V (3.3V と 5.0V から選択)
測定レンジ	1psi ～ 150psi
総合精度（TEB）	±1.0%Span
出力	アナログ出力	I2C or SPI
温度補正範囲	-10～85℃
その他特長	多彩な圧力タイプ、高湿対応オプション低消費電力オプション（デジタルのみ）

MS4515HRD　低圧用高分解能圧力センサ

MS4515HRD は MS4525DO よりも低圧をカバーし、さらに分解能を向上させた圧力センサです。24 bit の ADC を搭載しているため、より高い分解能で圧力計測が可能になります。また oversampling rate を調節する事で変換時間や消費電流などを変える事も可能です。

MS4515DO と MS4515HRD 比較表

型番	MS4515HRD	MS4515DO
測定レンジ	2inH2O ～ 30inHO
圧力分解能	24 bit	14 bit
温度分解能	24 bit	11 bit
供給電圧	1.8V ～ 3.6V	2.7V ～ 5.5V
総合精度	1%FS	１～２％ span
温度精度	Typ 1.5	1.0/2.0
消費電力	1μA（スタンバイモード時 0.15μA）	低消費オプション選択時のスタンバイモード: １μA

MS5806 大気圧センサ

24 bit の ADC を搭載しており 20cm の高さの分解能で高度計測が可能です。出力は I2C と SPI が選択可能です。1μA と電力消費が少ないためバッテリー駆動のアプリケーションに最適です。また、ゲルで保護してあるので耐水性もあり屋外向けのデバイス（スポーツウォッチなど）で用いることができます。

MS5806 主要パラメーター

圧力精度	±1.5mbar（測定圧力による）
分解能	20cm（oversampling rate による）
消費電力	1μA（oversampling rate による）
出力形態	I2C あるいは SPI