SI & SA series High-precision Inertial Sensors

高精度慣性センサ SI/SA シリーズ

 

First Sensor 社の高精度慣性センサは、傾斜角センサ(SI シリーズ)と加速度センサ(SA シリーズ)をご用意してあります。素子は単結晶シリコンセンサー素子を採用しており、最先端のマイクロマシニング技術を利用する高い S/N 比と優れた温度に対する安定性を実現しました。

慣性センサ SI/SA シリーズ

特長

SI シリーズ

  • 型番:SI-11.S1C.-30
  • 検出軸:2軸
  • 測定範囲:±30°
  • 分解能(10Hz):<0.0015°
  • スケールファクター(再現性):±35ppm
  • スケールファクター(温度特性):±50ppm/K
  • バイアス(再現性):±0.0030°
  • バイアス(温度特性):±0.0025°/K
  • 出力方式:SPI
  • 動作温度範囲:-40 ~ +85℃

※ 温度特性は未較正時の値です。

SA シリーズ

  • 型番:SA-12.S1.C-3、SA-13.S1.C-8、SA-14..S1.C-15
  • 検出軸:2軸
  • 測定範囲:±3g、±8g、±15g
  • 分解能(10Hz):<40μg、<65μg、<95μg
  • スケールファクター(再現性):±35ppm
  • ケールファクター(温度特性):±50 ppm/k
  • バイアス(再現性):±115μg、±260μg、±470μg
  • バイアス(温度特性):±65μg/K、±105μg/K、±175μg/K
  • 出力方式:SPI
  • 動作温度範囲:-40 ~ +85℃

※ 温度特性は未較正時の値です。

アプリケーション

SI シリーズ

下記を含むあらゆる分野での傾斜角監視や制御に最適です。

  • 一般産業機械
  • 産業用ロボット
  • 建造物
  • 農業機械
  • 食品機械
  • 建設機械
  • 測定器

SA シリーズ

各分野の振動における加速度測定に最適です。

  • プロセス制御
  • 地震測定
  • 傾斜角測定
  • 動力測定
  • 速度測定
  • 機械

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